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本文件规定了相移干涉法(PSI)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

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本文件规定了使用基于白光轴向色散特性的共聚焦色差探针测量表面结构的非接触式仪器的设计与计量特性。

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本文件规定了使用变焦(FV)传感器测量表面结构的非接触式仪器的计量特性。

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本文件规定了使用点自动对焦探针测量表面结构的非接触式仪器的计量特性。

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本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。

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GB/T 33523的本部分规定了表面结构区域法接触(触针)式仪器的标称特性。本部分适用于表面结构区域法接触(触针)式仪器。

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本标准规定了轮廓的定义及用于测量表面粗糙度及波纹度的接触(触针)式仪器的通用结构。
本标准还规定了影响轮廓评定的仪器特性,并提供了接触(触针)式仪器(轮廓计和轮廓记录仪)的基本技术规范。
本标准适用于对实际轮廓评定的触针仪器,使现行的国家标准能够用于实际轮廓的评定。

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