【国家标准】产品几何技术规范(GPS)　表面结构　区域法　第603部分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

本网站发布时间： 2023-04-03

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标准简介

本文件规定了相移干涉法(PSI)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

标准号：
GB/T 33523.603-2022
标准名称：
产品几何技术规范(GPS)　表面结构　区域法　第603部分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性
英文名称：
Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture:Areal—Part 603:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
标准状态：
现行
发布日期：
2022-12-30
实施日期：
2023-04-01
出版语种：
中文简体

起草人：
尉昊赟闫鹏马俊杰刘俭施玉书代鲲鹏朱悦
起草单位：
清华大学、山东大学、深圳市中图仪器股份有限公司、哈尔滨工业大学、中机生产力促进中心有限公司、中国计量科学研究院、广州计量检测技术研究院、中机研标准技术研究院(北京)有限公司
归口单位：
全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC 240)
提出部门：
全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC 240)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性