微信公众号随时随地查标准

QQ交流1群(已满)

QQ群标准在线咨询2

QQ交流2群

购买标准后,可去我的标准下载或阅读
GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 现行 发布日期 :  2019-08-30 实施日期 :  2020-03-01

本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型,规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

定价: 38元 / 折扣价: 33 加购物车

在线阅读 收 藏
1 条记录,每页 15 条,当前第 1 / 1 页 第一页 | 上一页 | 下一页 | 最末页  |     转到第   页