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GB/T 43796-2024 集成电路封装设备远程运维 数据采集 即将实施 发布日期 :  2024-03-15 实施日期 :  2024-10-01

本文件规定了集成电路封装设备远程运维组成架构、数据采集对象、数据采集功能、采集数据分类、数据采集过程和数据安全要求。
本文件适用于机械打孔机、丝网印刷机、砂轮划片机、芯片贴片机、引线键合机等典型集成电路封装设备远程运维的数据采集,其他电子元器件生产线数据采集过程参考使用。

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GB/T 43725-2024 直写成像式曝光设备 即将实施 发布日期 :  2024-03-15 实施日期 :  2024-10-01

本文件规定了直写成像式曝光设备的分类与结构、技术要求、检验规则、标志、包装、运输和贮存及产品随机文件的要求,描述了测试方法,包括试验一般条件、外观和尺寸检查、性能测试、安全性测试和噪声测试。本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板用直写成像式曝光设备的设计、研发、验证、制造、使用及检验等过程。

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GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范 现行 发布日期 :  2012-11-05 实施日期 :  2013-02-15

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。
本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

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GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范 现行 发布日期 :  2012-11-05 实施日期 :  2013-02-15

本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

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GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 现行 发布日期 :  1997-06-20 实施日期 :  1998-03-01

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GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 现行 发布日期 :  1997-06-20 实施日期 :  1998-03-01

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GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 现行 发布日期 :  1997-06-20 实施日期 :  1998-03-01

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GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件 被代替 发布日期 :  1995-12-22 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件 被代替 发布日期 :  1995-12-22 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜 现行 发布日期 :  1995-12-22 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 现行 发布日期 :  1995-12-22 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 15872-1995 半导体设备电源接口 被代替 发布日期 :  1995-12-22 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则 现行 发布日期 :  1995-12-22 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件 现行 发布日期 :  1994-12-28 实施日期 :  1995-08-01

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GB/T 14276-1993 绕接工具总规范 废止 发布日期 :  1993-04-03 实施日期 :  1993-11-01

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