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【国家标准】 离子注入机通用规范

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适用范围：

本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 15862-2012

  • 标准名称：

    离子注入机通用规范

  • 英文名称：

    General specification of ion implantation equipment

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2012-11-05

  • 实施日期：

    2013-02-15

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31-550

  • 中标分类号：

    L97

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    19 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    郭健辉 彭立波 罗宏洋

  • 起草单位：

    中国电子科技集团公司第四十八研究所

  • 归口单位：

    中国电子技术标准化研究所

  • 提出部门：

    中华人民共和国工业和信息化部

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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