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T/SDAMA 010-2025 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 现行 发布日期 :  2025-05-30 实施日期 :  2025-05-30

本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。

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T/SDAMA 011-2025 碳化硅陶瓷晶舟注浆成型浆料 现行 发布日期 :  2025-11-21 实施日期 :  2025-11-21

本文件规定了碳化硅陶瓷注浆成型浆料(以下简称碳化硅浆料)的组成与材料、制备方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存。本文件适用于碳化硅浆料的生产和检验。

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T/SDAMA 012-2025 集成电路用高纯铜合金铸锭 现行 发布日期 :  2025-12-26 实施日期 :  2025-12-26

本文件规定了集成电路用高纯铜合金铸锭(以下简称高纯铜合金铸锭)产品的分类、要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存及随行文件。本文件适用于制造半导体铜合金靶材所需的高纯铜合金铸锭。

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