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T/SDTC 010-2025 光刻机用氧化铝陶瓷导轨 现行 发布日期 :  2025-07-14 实施日期 :  2025-09-01

外观质量,尺寸及形位公差,表面粗糙度,氧化铝含量,体积密度,维氏硬度,常温弯曲强度,弹性模量,平均线热膨胀系数等。

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