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【团体标准】 光刻机用氧化铝陶瓷导轨

本网站 发布时间： 2025-07-19
  • T/SDTC 010-2025
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

外观质量，尺寸及形位公差，表面粗糙度，氧化铝含量，体积密度，维氏硬度，常温弯曲强度，弹性模量，平均线热膨胀系数等。

基本信息

  • 标准号：

    T/SDTC 010-2025

  • 标准名称：

    光刻机用氧化铝陶瓷导轨

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-07-14

  • 实施日期：

    2025-09-01

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    81.060.30

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    杨东亮、周国红、罗维志、朱岳彬、张健、王立波、苏明磊、王正娟、李新振、李伦、张超、古娜、徐海森、尹航、于松彬、王亮

  • 起草单位：

    山东硅元新型材料股份有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、上海微电子装备（集团）股份有限公司、淄博市传统产业发展中心、淄博市检验检测计量研究总院、淄博华创精细陶瓷有限公司、山东省硅酸盐研究设计院有限公司

  • 归口单位：

    山东省陶瓷协会

  • 提出部门：

    山东省陶瓷协会

  • 发布部门：

    山东省陶瓷协会
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