本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜(SPM)扫描轴的表征和校准方法,适用于提供进一步校准的测量系统,而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在:
——通过对长度单位溯源,提高SPM几何量测量结果的可比性;
——明确校准程序及验收条件的最低要求;
——确认被校准仪器的能力(赋予仪器“校准能力”所属的类别);
——规定校准的范围(测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性);
——根据ISO/IEC Guide 98-3,提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度;
——规定报告结果的要求。
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本标准规定了利用扫描电镜测量环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的方法。此方法同时利用X射线能谱分析技术(EDX)分析纤维状颗粒的元素组成,并根据此数据区分石棉纤维、硫酸钙纤维和其他无机纤维。本标准适用于环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的测定,也适用于建筑物内空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的检测。例如含石棉建筑材料拆除更换后,空气中残留石棉纤维状颗粒浓度的测定。如果检测时未发现纤维(纤维根数为0),此时其95%置信区间上限为2.99根。如果每平方厘米样品膜上通过1.0 m3空气,用扫描电镜分析这张膜上1.0 mm2面积,即通过被分析面积膜的空气体积为0.010 m3时,检出限大约是300根/m3纤维。滤膜试样上的纤维状颗粒浓度检测范围大约在3根/cm2~200根/cm2。空气中的浓度值(纤维根数/m3)取决于采样体积,可计算得出。注
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