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YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材 现行 发布日期 :  2013-10-17 实施日期 :  2014-03-01

本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

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