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本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构,并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1 μm~100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm~150 μm、深宽比为0.006 7~20。棱锥式针结构具有三个或四个面,其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大,并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。 本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。
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