本文件提供了在混合粉尘工业制造环境采集的空气样本中,根据颗粒大小对空气中炭黑和/或无定形二氧化硅颗粒的数量浓度(个/cm3)进行定量分析和识别的指南。本文件描述了在直径25 mm聚碳酸酯膜上使用荷电低压级联撞击采样器(ELPCI)采集空气样品的方法。本文件适用于对制造环境中含有多种类型颗粒的空气中的采样。本文件仅应用于在化学性质和物理性质上有所不同的颗粒构成的气溶胶或干扰因素可控(如柴油源)的环境。尽管其他的采样方法也可能适用,但本文件仅限描述与ELPCI相关的方法。通过TEM和EDS对ELPCI采集的样本进行颗粒形态和元素组成分析,以确定颗粒类型。这些信息与由ELPCI确定的尺寸颗粒浓度信息相结合,得到目标材料在空气中的浓度。
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本文件规定了支持洁净室和洁净区运行的检测方法,以满足空气洁净等级、其他洁净属性和相关控制条件。性能检测针对的是空态、静态和动态3种任一占用状态下的单向流和非单向流型式的洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用的检测仪器和检测程序。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型,为此,本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若供需双方协商同意,也可以使用本文件未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本文件不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。注: 本文件未提及与其使用相关的安全注意事项(例如涉及危险材料、操作、设备时)。本文件使用者有责任在使用前制定适当的安全和健康措施,并确定法规限制的适用性。
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