本标准规定了用直流四探针法测量锗单晶电阻率的方法。
本标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍锗单晶的电阻率以及测量直径大于探针间距的10倍、厚度小于探针间距4倍锗单晶圆片（简称圆片）的电阻率。测量范围为1×10-3Ω·cm～1×102Ω·cm。

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本标准给出了按照GB/T 16857.5检验坐标测量机时评估检测不确定度方法的指南。
本标准适用于配置接触式探测系统，使用离散点探测模式的坐标测量机。

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本标准规定了用电子探针对金属及合金的化学成分进行定量分析的方法。 本标准适用于金属和合金试样立方微米尺度的微区成分分析，分析元素的范围是11Na~92U。 本标准也适用于用配置了波谱仪的扫描电子显微镜对金属及合金做定量分析。

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本标准规定了船舶黑色金属材料海洋环境腐蚀层的电子探针分析的试样制备、标样选择、测量步骤和分析条件及分析结果处理。 本标准适用于海洋环境下船舶黑色金属块状腐蚀试样的分析。对其他环境下的黑色金属材料腐蚀层的电子探针分析可参照执行。

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本文件描述了使用扫描氮空位探针显微技术对样品产生的微弱静磁场进行成像的方法。本文件适用于使用扫描氮空位探针显微镜进行样品表面磁感应强度成像。具体场景如下：--对以磁性薄膜、二维磁性材料等为代表的弱磁性样品（磁感应强度典型值＜10 mT)进行磁成像；--对矫顽力低的磁性样品进行磁成像；--对磁结构或磁矩密度进行定量研究；--对微观尺度电流磁场进行成像。〓〓注： 本文件涉及的氮空位色心特指金刚石中带负电荷的氮空位色心。

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本标准规定了使用电子探针波谱法进行元素面分析的方法。本标准规范了移动电子束对试样扫描的面分析（电子束面分析）和移动试样台的面分析（大面积面分析）两种模式的选择，给出了五种数据处理的方式：原始X射线强度法、K值法、校正曲线法、对比法和基体校正法。

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本标准规定了碳纳米管粉体压制成厚块的电阻率的四探针测试方法。
本标准适用于采用四探针法测试试样厚度大于4倍探针间距的碳纳米管粉体电阻率的样品。其他碳材料的粉体电阻率测试可参考执行。

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本文件适用于电子探针显微分析（EPMA）中使用的单相标准样品（有证参考物质，CRMs），并给出了标准样品应用于平整抛光表面显微分析的使用指南。本文件不适用于有机和生物标准样品。

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本标准规定了通过并行接口或串行接口经由线缆、局域网、广域网络或其他通信线路将扫描探针显微镜（SPM)数据从计算机传输到计算机的格式。传输的数据采用出现在普通计算机显示器或打印机上的那些字符进行编码。该格式是为SPM的数据设计的，例如扫描隧道显微镜（STM)、原子力显微镜（AFM)和使用在样品表面上扫描的尖锐探针的相关表面分析方法。本格式涵盖了由单通道成像、多通道成像和单点谱得到的数据，在未来版本中可扩展至二维谱成像。

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本标准规定了进行电子探针分析时的入射电子束、波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则，并规定了束流、束流密度、死时间、波长分辨率、背底、分析面积、分析深度和分析体积的测定过程。
本标准适用于垂直入射电子束对抛光试样的分析，对于其他实验条件，这些实验参数只能作为参考。
本标准不适用于能谱法。

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本文件给出了用电子探针显微分析仪或者扫描电镜的波谱仪附件获得试样特定体积内（μm3尺度）的X射线谱进行元素鉴别和确认特定元素存在的方法。

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本文件规定了电子探针测量硫化物矿物成分的仪器设备、试样制备、标样、分析测试条件的选择、谱线重叠修正、分析步骤、结果处理和检测报告。本文件适用于在电子束轰击下稳定的硫化物矿物以及砷化物、锑化物、铋化物、碲化物、硒化物等矿物的电子探针定量分析。本文件适用于以电子探针进行的定量分析，也适用于安装了波谱仪的扫描电子显微镜进行的定量分析。

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