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本文件规定了高纯气体用不锈钢焊接气瓶(以下简称钢瓶)的术语和定义、符号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存、出厂文件和质量承诺。本文件适用于环境温度﹣40℃~60℃下使用的,水压试验压力不大于6.0MPa(表压)、公称容积为0.5L~1000L可重复充装与钢瓶材料具有相容性的高纯度低压液化气体(纯度为99.999%)的钢瓶。
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本文件规定了半导体溅射靶材高纯钛金属粉末的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于半导体溅射靶材高纯钛金属粉末的生产及检验。
本文件规定了集成电路用高纯铝钪合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。本文件适用于集成电路制造用高纯铝钪合金靶材,以下简称铝钪合金靶。
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本文件规定了高纯多晶硅生产低碳清洁的硅烷流化床工艺与改良西门子工艺及其对比、多晶硅单位产品能源消耗限额、高纯多晶硅生产低碳指标、检测与过程控制、主要装置、主要原料、劳动安全与职业卫生、运行与维护等要求。本文件适用于我国多晶硅企业的生产审核、生产绩效评定和生产绩效公告制度,其他新建或改扩建项目环境影响评价、环保核查、行业准入等可参考使用。
本文件规定了半导体石英坩埚生产用高纯石英砂的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。本文件适用于半导体石英坩埚生产用高纯石英砂。
本文件规定了焦炉煤气制高纯氢的术语和定义技术要求、试验与检测、检验方法、标志、包装。本文件适用于焦炉煤气制高纯氢的生产和验收。
本文件规定了电子工业用高纯二氧化钛的要求、试验方法、检验规则以及标识、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业用高纯二氧化钛。该产品主要用于陶瓷电容器、热敏电阻、压电器件、微波元件等电子元器件领域。
本文件规定了焦炉煤气制高纯氢的通用要求、生产安全、运行与维护、应急处理。本文件适用于炼焦工业或其他涉及炼焦流程的工业利用焦炉煤气制高纯氢的流程。
本文件规定了光伏材料高纯多晶硅工艺技术的总体要求、工艺设计、主要工艺流程、过程工艺控制、单位产品能源消耗限额、检测与过程控制、主要辅助工程和劳动与职业卫生等方面的技术要求。本文件适用于高纯多晶硅企业的工艺路线选择,工艺技术控制,也适用于新建或改扩建项目环境行业准入。
本文件规定了化工用高纯二氧化锰技术条件的术语和定义、品级、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输和质量证明书。本文件适用于化学反应而成的,可用作制造锰盐、焊剂、电池电极、电磁材料,也可用作氧化剂和催化剂的化工用高纯二氧化锰。
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