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GB/T 42895-2023 机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 现行 发布日期 :  2023-08-06 实施日期 :  2023-12-01

本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。

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GB/T 42896-2023 机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 现行 发布日期 :  2023-08-06 实施日期 :  2023-12-01

本文件描述了硅基MEMS制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。

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本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件(以下简称敏感元件)非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试,其他非MEMS敏感元件可参考使用。

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GB/T 36285-2018 火力发电厂汽轮机电液控制系统技术条件 现行 发布日期 :  2018-06-07 实施日期 :  2019-01-01

本标准规定了火力发电厂汽轮机电液控制系统的功能、性能指标和技术要求。
本标准适用于新建或改扩建火电厂单机容量300 MW及以上机组的汽轮机电液控制系统(DEH),其他容量机组的汽轮机电液控制系统可参照执行。

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GB/T 36285-2018e 火力发电厂汽轮机电液控制系统技术条件 现行 发布日期 :  2018-06-07 实施日期 :  2019-01-01

This standard specifies the functions,performance indicators and technical requirements of digital electro-hydraulic control system (DEH) of steam turbine in thermal power plant.
This standard is applicable to DEH of steam turbine units with a single unit capacity of 300 MW or above in newly built,retrofitted or expanded thermal power plants,and may be referenced for the units with a capacity below 300 MW.

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GB/T 17209-1998 电子设备用机电开关 第2部分:旋转开关分规范 现行 发布日期 :  1998-01-19 实施日期 :  1998-09-01

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本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。

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本文件描述了在环境应力(温度和湿度)、机械应力和应变下,评估MEMS压电薄膜材料耐久性的试验方法,以及用于质量评估的试验条件。本文件具体描述了在温度、湿度条件和外加电压下测量被测器件耐久性的试验方法和试验条件。
本文件适用于评估MEMS压电薄膜材料的耐久性和质量,也适用于评估在硅衬底上形成的压电薄膜的正压电性能,例如用作声学传感器或悬臂式传感器的压电薄膜。
本文件不包括可靠性评估,如基于威布尔分布预测压电薄膜寿命的方法。

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GB/T 9536.1-2024 电气和电子设备用机电开关 第1部分:总规范 现行 发布日期 :  2024-05-28 实施日期 :  2024-12-01

本文件规定了术语、符号、测试方法和其他必要的信息,以保持机电开关详细规范的一致性。
本文件适用于电气和电子设备用的机电开关。
本文件涵盖的开关:
a) 借助导电部件(触头)的机械运动来断开、接通或转换电路连接的装置;
b) 最大额定电压为480 V;
c) 最大额定电流为63 A。
本文件不适用于供信息处理系统使用的键盘和辅助键盘。本文件适用于机电琴键(按键)开关。
开关系列将在对应本文件的详细规范中描述。
本文件是一个性能标准,旨在描述评估方法,以更好地阐明开关的功能。

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GB/T 38341-2019 机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 现行 发布日期 :  2019-12-31 实施日期 :  2020-04-01

本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。

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本文件规定了强制定位(机械联锁)触点基础继电器的特殊要求和试验。这些要求是基于GB/T 21711.1通用要求基础上的特殊要求。
注1: 本文件不适用于IEC 60947-5-1中所述的机电式控制电路电器。
注2: IEC 61810-2-1提供了可靠性量值的评估指南。
注3: 本文件不考虑非强制定位(机械联锁)的触点。

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本文件描述了基于断裂力学概念的四点弯曲测量方法,利用作用在层状MEMS材料上的纯弯曲力矩,以最弱界面稳态开裂的临界弯曲力矩来测量界面黏附能。
本文件适用于在半导体基底上沉积薄膜层的MEMS器件。薄膜层总厚度宜小于支撑基底(通常是硅晶片)厚度的1/100。

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本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。

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本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微双端固支梁结构表面形貌进行残余应变测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微双端固支梁结构。

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GB/T 18496-2001 电子设备用机电开关 第4部分:钮子(倒扳)开关分规范 现行 发布日期 :  2001-11-02 实施日期 :  2002-06-01

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