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【国家标准】 微机电系统(MEMS)技术　MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

本网站 发布时间： 2018-05-02
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适用范围：

本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 34898-2017

  • 标准名称：

    微机电系统(MEMS)技术　MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

  • 英文名称：

    Micro electromechanical system technology—Test method for thenonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2017-11-01

  • 实施日期：

    2018-05-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.200

  • 中标分类号：

    L55

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    24 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵

  • 起草单位：

    北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心

  • 归口单位：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 提出部门：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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