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GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨 现行 发布日期 :  2009-10-30 实施日期 :  2010-05-01

本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式:NH3。
相对分子质量:17.031(按2005年国际相对原子质量)。

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