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【国家标准】 电子工业用气体　氨

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适用范围：

本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式：NH3。
相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）。

读者对象：

半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 14601-2009

  • 标准名称：

    电子工业用气体　氨

  • 英文名称：

    Gas for electronic industry—Ammonia

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2009-10-30

  • 实施日期：

    2010-05-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    14 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云

  • 起草单位：

    大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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