【团体标准】集成电路刻蚀设备用石英环

本网站发布时间： 2025-04-23

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标准简介

本文件规定了集成电路刻蚀设备用石英环的术语和定义、产品分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等内容。本文件适用于集成电路刻蚀设备用石英环。

起草人：
杨军、林胜雄、张月清、李勇斌、周文华、蓝呈、王慧、钱卫刚、秦卫光、叶国闽、宋贤、高君、李来斌、张娟、张忠恕、盛文彬、沈根法、孔凡昌、汤芳、张月秋
起草单位：
江苏富乐德石英科技有限公司、上海强华实业股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、北京凯德石英股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、中研颗精密机械（苏州）有限公司
归口单位：
中国电子材料行业协会
提出部门：
中国电子材料行业协会
发布部门：
中国电子材料行业协会

【团体标准】 集成电路刻蚀设备用石英环