【团体标准】半导体硅片清洗用石英槽

本网站发布时间： 2025-04-23

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标准简介

本文件规定了半导体硅片清洗用石英槽的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标识、清洗、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体硅片清洗用石英槽，以下简称石英槽。

起草人：
杨军、吴然红、张荣、张鑫江、郑明山、王慧、钱卫刚、秦卫光、叶国闽、宋贤、高君、李来斌、周文华、蓝呈、张娟、张忠恕、盛文彬、沈根法、孔凡昌、汤芳、卫令中
起草单位：
浙江富乐德石英科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、上海强华实业股份有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、北京凯德石英股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司
归口单位：
中国电子材料行业协会
提出部门：
中国电子材料行业协会
发布部门：
中国电子材料行业协会

【团体标准】 半导体硅片清洗用石英槽