【团体标准】 CVD硅基负极用硅烷气制备技术规范

本网站发布时间： 2025-09-04

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标准简介

本文件规定了CVD硅基负极材料用硅烷气的工艺流程、制备要求、安全要求。本文件适用于在锂离子电池、固态电池等领域中使用CVD技术将硅烷气转化为硅基负极材料的相关制备过程。

起草人：
田润朝、杨强、李文强、何茂、徐聪、江罗、梁勇、钱吉、郭锐、张瑞云、周海辉、高轩
起草单位：
亚洲硅业(青海)股份有限公司、亿珂特种气体(包头)有限公司、大连华邦化学有限公司、安徽湛为气体有限公司、金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、海利天成标准技术服务(北京)有限公司、华盛通标(北京)技术服务有限公司
归口单位：
中国商业股份制企业经济联合会
提出部门：
中国商业股份制企业经济联合会
发布部门：
中国商业股份制企业经济联合会

T/EJCCCSE 533-2025