【团体标准】电子级硅烷气

本网站发布时间： 2025-09-04

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标准简介

本文件规定了电子级硅烷气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。本文件适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延沉积、二氧化硅低温化学气相沉积、非晶硅薄膜沉积等工艺所用的电子级硅烷气。

起草人：
郑春宁、李文强、何茂、徐聪、江罗、田润朝、钱吉、郭锐、周海辉、潘晓敏
起草单位：
浙江亚格新安电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、安徽湛为气体有限公司、金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
归口单位：
中国商业股份制企业经济联合会
提出部门：
中国商业股份制企业经济联合会
发布部门：
中国商业股份制企业经济联合会

【团体标准】 电子级硅烷气