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【国家标准】 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

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适用范围：

本标准规定了利用Si（111）晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜，并且其z向放大倍率达到最大量级，即z向位移在纳米和亚纳米范围内，这是原子力显微镜用于检测半导体表面，光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题，在应用本标准之前，使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 27760-2011

  • 标准名称：

    利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

  • 英文名称：

    Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2011-12-30

  • 实施日期：

    2012-05-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    19.020

  • 中标分类号：

    N04

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    20 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    朱晓阳 杨延莲 贺蒙 高洁

  • 起草单位：

    国家纳米科学中心

  • 归口单位：

    全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)

  • 提出部门：

    中国科学院

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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