【团体标准】半导体洁净室水溶性空气分子污染物（AMC）的测定离子色谱法

本网站发布时间： 2025-07-10

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标准简介

本文件描述了半导体洁净室空气分子污染物（AMC）中水溶性阴离子（F-、Cl-、Br-、NO3-、PO43-、SO42-、NO2-）及阳离子（Li+、Na+、NH4+、K+、Mg2+、Ca2+）的离子色谱仪测定方法。本文件适用于半导体洁净室水溶性空气分子污染物（AMC）中阴离子和阳离子的测定。

起草人：
邓春星、张雪囡、由佰玲、李春阳、朱晓彤、张园园、徐顺波、孔令群、吴倩、王春明、冯天、邱艳梅、张锦梅、徐新华、顾广安、杨玉聪、薛心禄
起草单位：
TCL中环新能源科技股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、四川永祥股份有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、中环领先半导体科技股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、新特能源股份有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、江苏环鑫半导体有限公司、青海芯测科技有限公司
归口单位：
中国有色金属工业协会
提出部门：
中国有色金属工业协会
发布部门：
中国有色金属工业协会

【团体标准】 半导体洁净室水溶性空气分子污染物（AMC）的测定离子色谱法