【团体标准】半导体洁净室空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定电感耦合等离子体质谱法

本网站发布时间： 2025-07-10

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标准简介

本文件描述了电感耦合等离子体质谱法测定半导体洁净室空气分子污染物（AMC）中掺杂剂B和P的方法。本文件适用于半导体洁净室空气分子污染物（AMC）中掺杂剂B和P的测定。

起草人：
邓春星、张雪囡、由佰玲、李春阳、贾琳蔚、朱晓彤、张园园、徐俊俊、孔令群、吴倩、王春明、冯天、薛心禄、刘国霞、张锦梅、徐新华、顾广安、杨玉聪
起草单位：
TCL中环新能源科技股份有限公司、四川永祥能源科技有限公司、山东有研半导体材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、中环领先半导体科技股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、青海芯测科技有限公司、新特能源股份有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、江苏环鑫半导体有限公司
归口单位：
中国有色金属工业协会
提出部门：
中国有色金属工业协会
发布部门：
中国有色金属工业协会

【团体标准】 半导体洁净室空气分子污染物（AMC）掺杂剂B和P测定电感耦合等离子体质谱法