【国家标准】碳基薄膜　椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

本网站发布时间： 2025-04-01

GB/T 44538-2024
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
本文件适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
本文件不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。

基本信息

标准号：
GB/T 44538-2024
标准名称：
碳基薄膜　椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
英文名称：
Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
标准状态：
现行
发布日期：
2024-09-29
实施日期：
2025-04-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
25.220.99
中标分类号：
A29

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《碳基薄膜　椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》 MOD 修改采用

出版信息

页数：
12 页
字数：
15 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
段海涛、贾丹、曹一莹、张心凤、沈学忠、高明、詹胜鹏、凃杰松、王彦峰、王流火、杨田、陈辉、骆小双、尤锦鸿、易娟、苏东艺
起草单位：
中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司
归口单位：
全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC 57)
提出部门：
中国机械工业联合会
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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