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【团体标准】 电子级硫酸制造用高纯三氧化硫

本网站 发布时间: 2026-01-16
  • T/CAEE 028-2026
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围:

5试验方法一般要求5.1.1实验室环境试验应在洁净、干燥、通风良好的实验室中进行,实验室温度应控制在20℃±2℃,相对湿度≤65%。实验室应远离粉尘源、污染源和强电磁干扰源,避免环境因素对检测结果产生影响。用于痕量杂质检测的实验室应符合洁净实验室相关要求,空气中的悬浮颗粒物、金属杂质含量应控制在极低水平。5.1.2试验用水试验所用纯水应符合GB/T6682中一级水的要求,电阻率≥18.2MΩ?cm(25℃),总有机碳(TOC)≤10ppb,金属杂质含量≤0.1ppb。试验用水在使用前应经过脱气处理,避免水中溶解的气体对检测结果产生干扰。5.1.3试验器具所有试验器具(包括容量瓶、移液管、坩埚、比色管等)均应选用耐腐蚀、低杂质的材质,如硼硅酸盐玻璃、PFA、PTFE等。试验器具在使用前应进行严格的清洗和校准:先用稀硝酸溶液(1+9)浸泡24h,再用一级水冲洗至少10次,最后在105℃±2℃的烘箱中烘干至恒重,冷却后备用。用于ICP-MS、离子色谱等精密仪器分析的器具,还应进行空白验证,确保器具本身不引入杂质。5.1.4试剂和材料试验所用试剂均应为优级纯或更高纯度级别,其杂质含量应远低于被检测样品的杂质限值,避免试剂引入干扰。标准品应选用有证标准物质,浓度准确,稳定性良好,在有效期内使用。载气、燃气等气体应符合相关标准要求,如气相色谱法所用载气高纯氮气的纯度≥99.999%,确保仪器正常运行和检测结果的准确性。5.1.5仪器校准所有检测仪器(气相色谱仪、ICP-MS仪、离子色谱仪、密度计、旋转粘度计等)均应按照相关标准或仪器操作规程进行定期校准,校准周期不应超过2年。校准应使用有证标准物质或标准器具,校准结果应符合仪器的技术要求。仪器校准记录应妥善保存,以备核查。外观检验5.2.1检验环境检验应在自然光充足、无干扰的环境下进行,可在通风橱内操作,避免样品挥发产生的烟雾影响观察。环境温度应控制在20℃±2℃,避免温度过高或过低导致样品状态变化。5.2.2检验器具选用清洁、干燥、无划痕的透明石英比色管,规格为50mL或100mL,液面高度不低于20cm。同时准备一支同规格的标准比色管,装入同体积的一级水作为对照。5.2.3检验步骤——用洁净的PFA移液管吸取适量试样,缓慢注入石英比色管中,液面高度控制在20cm~30cm之间。——将装有试样的比色管与装有一级水的标准比色管并列放置,在自然光下从侧面和正面观察试样的颜色、透明度。——仔细检查试样中是否有可见悬浮物、沉淀、气泡及其他机械杂质。观察时应避免阳光直射,必要时可借助放大镜辅助观察。——记录观察结果,若试样为无色、透明,且无可见悬浮物、沉淀及其他机械杂质,则判定外观合格;否则判定为不合格。纯度分析采用气相色谱法(GB/T9722—2006)作为主测定方法,同时采用GB/T23855—2018规定的滴定法进行验证,两种方法的测定结果绝对差值应≤0.02%,取平均值作为最终测定结果;若绝对差值>0.02%,按5.3.3规定重新测定。5.3.1气相色谱法仪器和设备a)气相色谱仪:配备热导检测器(TCD),检测灵敏度≤1×10??g/s(以苯计)。b)色谱柱:PorapakQS(80-100目),柱长2m,内径3mm的不锈钢柱或玻璃柱。c)气密型注射器:规格为10μL、50μL,密封性良好,无泄漏。d)恒温水浴锅:控温精度±0.1℃。e)分析天平:精度0.0001g。试剂和材料a)载气:高纯氮气,纯度≥99.999%。b)三氧化硫标准样品:已知纯度≥99.99%(质量分数),有证标准物质。c)无水乙醇:优级纯,水分含量≤0.05%。色谱操作条件a)柱温:120℃,保持30min。b)进样口温度:180℃。c)检测器温度:200℃。d)载气流速:30mL/min,保持稳定。e)进样量:10μL。f)检测器电流:150mA。标准曲线绘制——准确称取三氧化硫标准样品0.1g、0.2g、0.3g、0.4g、0.5g(精确至0.0001g),分别置于5个干燥的样品瓶中,加入5mL无水乙醇溶解,摇匀。——按照上述色谱操作条件,将气密型注射器依次吸取10μL标准溶液注入气相色谱仪中,记录色谱图,测定各标准溶液的峰面积。——以三氧化硫标准样品的质量分数为横坐标,对应的峰面积为纵坐标,绘制标准曲线,进行线性回归分析,得到回归方程y=ax+b(其中y为峰面积,x为质量分数,a为斜率,b为截距),相关系数r应≥0.9990。

基本信息

  • 标准号:

    T/CAEE 028-2026

  • 标准名称:

    电子级硫酸制造用高纯三氧化硫

  • 英文名称:

    high-purity sulfur trioxide for electronic-grade sulfuric acid manufacturing
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2026-01-15
  • 实施日期:

    2026-02-01
  • 出版语种:

标准分类号

  • 标准ICS号:

    71.060.20
  • 中标分类号:

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

  • 字数:

  • 开本:

其他信息

  • 起草人:

    顾林建、文革、郭岚峰、崔鹏慧、何文旭、石黄华、吴斌、许艳梅、崔学军
  • 起草单位:

    苏州双狮环境科技有限公司、惠州市晟达新材料科技有限公司、湖北兴福电子材料股份有限公司、天津环渤新材料有限公司、北京通标科达标准化技术有限公司、沈阳千亿信息科技有限公司
  • 归口单位:

    中国电子装备技术开发协会
  • 提出部门:

    中国电子装备技术开发协会
  • 发布部门:

    中国电子装备技术开发协会