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- T/NXCL 30-2024 300mm低氧含量直拉硅单晶
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标准简介
适用范围:
本文件规定了300mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面的内容。本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料,采用直拉法制备的直径为300mm的低氧含量硅单晶。产品主要用于绝缘栅双极晶体管(IGBT)等功率器件的衬底。
标准号:
T/NXCL 30-2024
标准名称:
300mm低氧含量直拉硅单晶
英文名称:
300 mm low oxygen content single crystaline Czochralski silicon标准状态:
现行-
发布日期:
2024-02-06 -
实施日期:
2024-02-06 出版语种:
- 推荐标准
- 国家标准计划
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