【国家标准】光学功能薄膜　微结构厚度测试方法

本网站发布时间： 2024-03-01

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标准简介

本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)检测光学功能薄膜(以下简称薄膜)横截面微结构厚度(以下简称横截面厚度)的方法。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。

起草人：
夏江南高建辉姜宁赵朔田坤韩明星程媛李宗刘玉磊刘文亮姚一凡李文沾赵建明曹建周鹏罗惠滨
起草单位：
中国乐凯集团有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、凯鑫森(上海)功能性薄膜产业股份有限公司、东莞市光志光电有限公司
归口单位：
全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会(SAC/TC 431)
提出部门：
中国石油和化学工业联合会
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法