【国家标准】光学功能薄膜　微结构厚度测试方法

本网站发布时间： 2024-03-01

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标准简介

本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)检测光学功能薄膜(以下简称薄膜)横截面微结构厚度(以下简称横截面厚度)的方法。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。

起草人：
夏江南、高建辉、姜宁、赵朔、田坤、韩明星、程媛、李宗、刘玉磊、刘文亮、姚一凡、李文沾、赵建明、曹建、周鹏、罗惠滨
起草单位：
中国乐凯集团有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、凯鑫森(上海)功能性薄膜产业股份有限公司、东莞市光志光电有限公司
归口单位：
全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会(SAC/TC 431)
提出部门：
中国石油和化学工业联合会
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法