【国家标准】微纳米标准样板(几何量)

本网站发布时间： 2021-06-01

GB/T 39516-2020
现行
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。

基本信息

标准号：
GB/T 39516-2020
标准名称：
微纳米标准样板(几何量)
英文名称：
Micro nano standard samples (geometric)
标准状态：
现行
发布日期：
2020-11-19
实施日期：
2021-06-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
17.040.30
中标分类号：
J42

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
24 页
字数：
36 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞
起草单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司
归口单位：
全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
提出部门：
中国机械工业联合会
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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