【国家标准】微纳米标准样板(几何量)

本网站发布时间： 2021-06-01

GB/T 39516-2020
现行
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。

基本信息

标准号：
GB/T 39516-2020
标准名称：
微纳米标准样板(几何量)
英文名称：
Micro nano standard samples (geometric)
标准状态：
现行
发布日期：
2020-11-19
实施日期：
2021-06-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
17.040.30
中标分类号：
J42

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
24 页
字数：
36 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
李锁印付兴昌梁法国韩志国赵琳冯亚南许晓青张晓东姜志刚许刚苏冀雄张恒雷李华赵军张松涛蔡潇雨傅云霞
起草单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司
归口单位：
全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
提出部门：
中国机械工业联合会
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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