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【团体标准】 200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片

本网站 发布时间： 2023-11-06
  • T/NXCL 016-2022
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

暂无

基本信息

  • 标准号：

    T/NXCL 016-2022

  • 标准名称：

    200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片

  • 英文名称：

    200 mm heavily antimony-doped single crystaline Czochralski silicon polished wafer

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2022-12-02

  • 实施日期：

    2022-12-02

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    芮阳、商润龙、王黎光、伊冉、曹启刚、杨少林、熊欢、王忠宝、马成、周文辉、马吟霜、魏兴彤、张昆、盛之林、张友海、顾燕滨、黄柳青、范占军

  • 起草单位：

  • 归口单位：

  • 提出部门：

  • 发布部门：

  • 其它标准
  • 推荐标准

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