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【团体标准】 硅部件用柱状多晶硅

本网站 发布时间: 2023-11-06
  • T/NXCL 015-2022
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标准简介标准简介

适用范围:

暂无

基本信息

  • 标准号:

    T/NXCL 015-2022

  • 标准名称:

    硅部件用柱状多晶硅

  • 英文名称:

    Columnar polysilicon for silicon parts
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2022-12-02
  • 实施日期:

    2022-12-02
  • 出版语种:

标准分类号

  • 标准ICS号:

    29.045
  • 中标分类号:

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

  • 字数:

  • 开本:

其他信息

  • 起草人:

    李长苏、顾燕滨、盛旺、丁亚国、武文元、李玲玲、熊欢、吴彦飞、杨文平、刘建斌、杨少林、范占军、马江、杜朋轩、姜永庆、谢君彦
  • 起草单位:

  • 归口单位:

  • 提出部门:

  • 发布部门: