【团体标准】半导体设备隔振系统设计及技术要求

本网站发布时间： 2024-04-30

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。

标准号：
T/CI 334-2024
标准名称：
半导体设备隔振系统设计及技术要求
英文名称：
Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments
标准状态：
现行
发布日期：
2024-04-18
实施日期：
2024-04-18
出版语种：

起草人：
陆泽琦、陈立群、张建华、贾建军、谢永、刘兴天、李浩源、闫腾飞、凌晓、辛涵申、姜琳、陶大燎、薛杰、陈震宇、欧阳郁汀
起草单位：
上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司
归口单位：
中国国际科技促进会
提出部门：
中国国际科技促进会
发布部门：
中国国际科技促进会

【团体标准】 半导体设备隔振系统设计及技术要求