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【团体标准】 先进制程关键器件层刻蚀及表面处理超低损伤技术标准

本网站 发布时间： 2025-09-06
  • T/EJCCCSE 534-2025
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了先进制程关键器件层刻蚀及表面处理超低损伤技术的术语和定义、不同类型层刻蚀损伤要求、表面处理损伤要求、检验方法及超低损伤控制。本文件适用于半导体制造、微电子器件加工过程中使用化学、物理方法选择性去除器件特定材料层（3nm节点）的质量控制。

基本信息

  • 标准号：

    T/EJCCCSE 534-2025

  • 标准名称：

    先进制程关键器件层刻蚀及表面处理超低损伤技术标准

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-08-21

  • 实施日期：

    2025-09-20

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.080.99

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    王兆祥、梁洁、詹其文、涂乐义、王士京、胡海峰、彭国发、方文强、雷欣瑞、王晓雯、李可、刘远远、陆赟、吴可学、陈国梁

  • 起草单位：

    上海邦芯半导体科技有限公司、上海理工大学、上海谙邦半导体设备有限公司

  • 归口单位：

    中国商业股份制企业经济联合会

  • 提出部门：

    中国商业股份制企业经济联合会

  • 发布部门：

    中国商业股份制企业经济联合会
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