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【国家标准】 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量　触针式轮廓仪法

本网站 发布时间： 2017-12-01
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适用范围：

本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 33826-2017

  • 标准名称：

    玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量　触针式轮廓仪法

  • 英文名称：

    Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2017-05-31

  • 实施日期：

    2017-12-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.99

  • 中标分类号：

    Q34

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    16 页

  • 字数：

    24 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    孟政、刘静、候英兰、徐勇、戴石锋、汪洪、梁慧超、张继军、张庆华、代铮、张卫星、赵晋武、郎岩梅

  • 起草单位：

    中国建筑材料科学研究总院、漳州旗滨玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限公司、冶金工业信息标准研究院

  • 归口单位：

    全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC 279/SC 1)

  • 提出部门：

    中国科学院

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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