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【国家标准】 纳米几何量标准样板测试方法

本网站 发布时间： 2024-11-01
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适用范围：

本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。本文件适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100 nm的纳米膜厚标准样板的测试。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 43915-2024

  • 标准名称：

    纳米几何量标准样板测试方法

  • 英文名称：

    Testing method for nano geometric standard samples

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-04-25

  • 实施日期：

    2024-11-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    17.040.30

  • 中标分类号：

    J42

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    21 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    吴爱华、付兴昌、李锁印、许晓青、邹学锋、韩志国、赵琳、张晓东、冯亚南、梁法国、许刚、何宜鲜、朱振宇、李强、万宇、雷李华、傅云霞、曾艳华、管钰晴、邓晓、刘庆纲、张恒、施玉书、苏翼雄、冉庆、曹葵康

  • 起草单位：

    中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、同济大学、天津大学、中国计量科学研究院、广西壮族自治区计量检测研究院、中国测试技术研究院、苏州天准科技股份有限公司

  • 归口单位：

    全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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