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T/ICMTIA ESG0039-2024 集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

【团体标准】集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

本网站发布时间： 2025-12-23

T/ICMTIA ESG0039-2024
现行
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标准简介

适用范围：

本文件规定了四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。本文件适用于四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素含量的测定。各元素的测定范围0.1ng/g～50ng/g。

基本信息

标准号：
T/ICMTIA ESG0039-2024
标准名称：
集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法
英文名称：
Test method for measurement of impurity concentrations in titanium tetrachloride for integrated circuit by Inductively coupled-plasma Mass Spectrometry
标准状态：
现行
发布日期：
2024-04-30
实施日期：
2024-06-01
出版语种：

标准分类号

标准ICS号：
31-030
中标分类号：

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
字数：
开本：

其他信息

起草人：
万烨、赵雄、徐家扬、曹俊英、姜士兵、蒯丽君、陈得义、祝飘、聂兰建、赵令浩、郭树虎、严大洲、常欣、刘见华、张园园、梁君
起草单位：
洛阳中硅高科技有限公司、北矿检测技术股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、威顿晶磷电子材料股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家地质实验测试中心、硅基材料国家工程研中心
归口单位：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
提出部门：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布部门：
中关村集成电路材料产业技术创新联盟

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