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【团体标准】 电子工业用气体六氟丙烷

本网站 发布时间： 2024-02-27
  • T/CHBAS 47-2023
  • 现行
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标准简介标准简介

适用范围：

本文件规定了电子工业用气体六氟丙烷（以下简称六氟丙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业六氟丙烷为原料经纯化制备的电子工业用六氟丙烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

基本信息

  • 标准号：

    T/CHBAS 47-2023

  • 标准名称：

    电子工业用气体六氟丙烷

  • 英文名称：

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2023-12-22

  • 实施日期：

    2023-12-30

  • 出版语种：

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

  • 字数：

  • 开本：

其他信息

  • 起草人：

    倪珊珊 陈润泽 吕舜 吝秀锋 李欣 陈良 薛贺来 唐中伟

  • 起草单位：

    中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究 所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司

  • 归口单位：

    河北省标准化协会

  • 提出部门：

    河北省标准化协会

  • 发布部门：

    河北省标准化协会
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  • 国家标准计划

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