本文件规定了支持洁净室和洁净区运行的检测方法,以满足空气洁净等级、其他洁净属性和相关控制条件。性能检测针对的是空态、静态和动态3种任一占用状态下的单向流和非单向流型式的洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用的检测仪器和检测程序。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型,为此,本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若供需双方协商同意,也可以使用本文件未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本文件不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。注: 本文件未提及与其使用相关的安全注意事项(例如涉及危险材料、操作、设备时)。本文件使用者有责任在使用前制定适当的安全和健康措施,并确定法规限制的适用性。
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本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法,以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。本文件包含以下一般性指南:--表面目标洁净度等级;--清洁方法的适用性;--表面与清洁技术的相容性;--清洁方法适宜度的评估。本文件不包含以下事项:--清洁方法的分类;--洁净室内生产的产品;--与特定表面相关的具体清洁方法;--各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明;--材料特性的详细说明;--清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制;--污染物与表面间的黏附力,以及通常与时间和工艺相关的黏附过程;--粒子的其他特性,如静电、离子等;--分子污染物与表面的化学反应;--表面微生物;--放射性污染;--健康、安全;--环境因素,如:废物处理、排放等;--统计方法的选用。
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