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【国家标准】 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

本网站 发布时间: 2022-05-05
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适用范围:

本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 μm(100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1: 本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。
注2: 请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3: 本文件未考虑健康与安全事项。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 25915.12-2021

  • 标准名称:

    洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

  • 英文名称:

    Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2021-10-11
  • 实施日期:

    2022-05-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    13.040.35
  • 中标分类号:

    C70

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

    《洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数:

    16 页
  • 字数:

    29 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    王尧 姜伟康 蔡杰 孙玉澄 王其祥 王大千 姜皓遐 朱兰 翟传明 蒋乃军 邴绍同 石小雷 高正 吴小泉 叶伟强 张敏 董玉平 郝胤博 惠旅峰 肖轶群
  • 起草单位:

    中天道成(苏州)洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、苏州市计量测试院、江苏苏净工程建设有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、国家纳米科学中心、中国合格评定国家认可中心、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境科技股份有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司
  • 归口单位:

    全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
  • 提出部门:

    全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
  • 发布部门:

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 推荐标准
  • 国家标准计划