【国家标准】洁净室及相关受控环境　第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

本网站发布时间： 2022-03-01

GB/T 25915.2-2021
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。
本文件适用于粒径0.1 μm～5 μm粒子浓度的监测。
本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子（小于0.1 μm的粒子）浓度的监测，将在另一个标准中规定。

基本信息

标准号：
GB/T 25915.2-2021
标准名称：
洁净室及相关受控环境　第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
英文名称：
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
标准状态：
现行
发布日期：
2021-08-20
实施日期：
2022-03-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
13.040.35
中标分类号：
C70

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《洁净室及相关受控环境　第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
20 页
字数：
34 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
施红平王大千刘俊杰冯昕龙军王苑谢敬伟车玉伶夏薇佳吴志坚吴巍王芳张仲杰王辉耿文韬王蓉周占磊童广才邱济夫黄韧魏佳鸣姚增玉廖志铭詹炼王华张玉华明飞平程北川于天朱吉兴邹再彬
起草单位：
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归口单位：
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
提出部门：
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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