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【国家标准】 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级

本网站 发布时间: 2022-03-01
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适用范围:

本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质(包括分子、离子、原子、颗粒物)存在情况的表面洁净度分级系统。
本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面,如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。
注1: 本文件仅考虑微粒子的化学性质,未考虑微粒子的物理性质。本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。
注2: 本文件不涉及污染产生的过程,不涉及与时间有关的影响因素(沉降、沉积、老化等)以及与过程有关的活动(如转移、处理等),也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 25915.10-2021

  • 标准名称:

    洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级

  • 英文名称:

    Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10:Classification of surface cleanliness by chemical concentration
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2021-08-20
  • 实施日期:

    2022-03-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    13.040.35
  • 中标分类号:

    C70

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

    《洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数:

    32 页
  • 字数:

    58 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    袁晓东 黄吉辉 张秀春 侯忆 孙玉澄 苗心向 范国锋 施红平 王大千 邴绍同 金真 童广才 夏薇佳 吕海兵 王芳 崔艳 杨云涛 陈汉青 闫彩萍 陈晶晶 袁有华 陶清宝
  • 起草单位:

    中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市计量测试院、中国电子系统工程第二建设有限公司、苏州宏远净化技术有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、上海市室内环境净化行业协会、上海风神环境设备工程有限公司、无锡汉佳医疗科技有限公司、上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司、茂盟(上海)工程技术股份有限公司
  • 归口单位:

    全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
  • 提出部门:

    全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
  • 发布部门:

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 推荐标准
  • 国家标准计划