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GB/T 5554-1985 表面活性剂 纺织助剂 防水剂防水力测定法 淋水测试法 被代替 发布日期 :  1985-10-29 实施日期 :  1986-08-01

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GB/T 5327-1985 表面活性剂名词术语 被代替 发布日期 :  1985-08-29 实施日期 :  1986-04-01

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GB/T 5328-1985 表面活性剂简化分类 现行 发布日期 :  1985-08-29 实施日期 :  1986-04-01

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GB/T 2922-1982 化学试剂 色谱载体比表面积的测定方法 废止 发布日期 :  1982-03-03 实施日期 :  1983-02-01

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本文件描述了用于测量扫描电容显微镜(scanning capacitance microscope,SCM)或扫描扩展电阻显微镜(scanning spreading resistance microscope,SSRM)空间(横向)分辨的方法,该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。

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本文件规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的峰强度测量的分析结果报告中所要求的必要信息,也提供了峰强度测量方法和导出的峰面积不确定度的信息。

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