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【国家标准】 表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

本网站 发布时间： 2024-10-08
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适用范围：

本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitance microscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 43661-2024

  • 标准名称：

    表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

  • 英文名称：

    Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes(ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2024-03-15

  • 实施日期：

    2024-10-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.40

  • 中标分类号：

    G04

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    《表面化学分析　扫描探针显微术　用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    31 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    龚力、杨慕紫、陈瑜、张浩、谢伟广、谢方艳、丁喜冬、陈建

  • 起草单位：

    中山大学、广东工业大学、暨南大学

  • 归口单位：

    全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

  • 提出部门：

    全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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