本标准规定了一种准确测量硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的方法，即X射线光电子能谱法（XPS）。本标准适用于热氧化法在硅晶片表面制备的超薄氧化硅层厚度的准确测量；通常，本标准适用的氧化硅层厚度不大于6 nm。

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本标准规定了电子探针仪（EPMA）和扫描电子显微镜（SEM）的X射线波谱仪（WDS）和能谱仪（EDS）对硅酸盐玻璃的定量分析方法。〖HJ*3/5〗
本标准适用于硅酸盐玻璃试样（包括碱金属的硅酸盐玻璃）的波谱法(WDX)和能谱法(EDX)的定量分析。

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本标准规定了用原子吸收光谱仪进行定量分析的通用规则。 本标准适用于利用原子吸收光谱仪对从常量到痕量化学元素的定量分析。

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本标准规定了使用高效液相色谱法进行的定性定量分析和提纯精制的通用规则。 本标准适用于使用高效液相色谱法对无机、有机化合物的定性定量分析及提纯精制，以及对高分子化合物的分子量的测定的一般要求。

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本文件界定了电子探针显微分析（EPMA)实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按仪器、分析方法分类的特定概念的术语。本文件适用于相关领域(SEM、AEM、EDX等)的所有标准和实践文件中通用术语的定义。

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本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。
本方法适用于测定3 nm~1 000 nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。

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本标准界定了液相色谱法——柱色谱法和平面色谱法术语及有关符号。 本标准适用于涉及液相色谱法术语的各级标准、技术文件、书刊的编写。本标准不适用于电泳及其有关的术语。

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本标准规定了利用扫描电镜测量环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的方法。此方法同时利用X射线能谱分析技术（EDX）分析纤维状颗粒的元素组成，并根据此数据区分石棉纤维、硫酸钙纤维和其他无机纤维。本标准适用于环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的测定，也适用于建筑物内空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的检测。例如含石棉建筑材料拆除更换后，空气中残留石棉纤维状颗粒浓度的测定。如果检测时未发现纤维（纤维根数为0），此时其95%置信区间上限为2.99根。如果每平方厘米样品膜上通过1.0 m3空气，用扫描电镜分析这张膜上1.0 mm2面积，即通过被分析面积膜的空气体积为0.010 m3时，检出限大约是300根/m3纤维。滤膜试样上的纤维状颗粒浓度检测范围大约在3根/cm2～200根/cm2。空气中的浓度值（纤维根数/m3）取决于采样体积，可计算得出。注

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本标准规定了使用透射电子显微镜对植物病毒进行形态学观察和鉴定的步骤、质量要求及鉴定报告的发布。本标准适用于各种类型透射电镜对植物病毒形态的观察和鉴定。

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本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。

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本标准规定了通过并行接口或串行接口经由线缆、局域网、广域网络或其他通信线路将扫描探针显微镜（SPM)数据从计算机传输到计算机的格式。传输的数据采用出现在普通计算机显示器或打印机上的那些字符进行编码。该格式是为SPM的数据设计的，例如扫描隧道显微镜（STM)、原子力显微镜（AFM)和使用在样品表面上扫描的尖锐探针的相关表面分析方法。本格式涵盖了由单通道成像、多通道成像和单点谱得到的数据，在未来版本中可扩展至二维谱成像。

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本标准规定了一种准确测量印刷线路板PCB（printed circuit board）镀金手指表面污染物的方法--俄歇电子能谱法（AES）。本标准适用于具有一定导电性固体表面纳米尺度元素分布的准确测量。

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