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【国家标准】 俄歇电子能谱仪检定方法

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适用范围:

本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。本标准适用于激发源为电子束,且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 35158-2017

  • 标准名称:

    俄歇电子能谱仪检定方法

  • 英文名称:

    Verification method for Auger electron spectrometers
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2017-12-29
  • 实施日期:

    2018-11-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    71.040.40
  • 中标分类号:

    G04

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

    64 页
  • 字数:

    112 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    姚文清、岑丹霞、张增明、徐建、刘芬、王水菊
  • 起草单位:

    厦门大学、清华大学
  • 归口单位:

    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
  • 提出部门:

    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
  • 发布部门:

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
ICS71.040.40 G04 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T35158—2017 俄歇电子能谱仪检定方法 VerificationmethodforAugerelectronspectrometers 2017-12-29发布 2018-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布 目 次 前言 Ⅲ………………………………………………………………………………………………………… 引言 Ⅳ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1………………………………………………………………………………………… 3 缩略语和符号 1…………………………………………………………………………………………… 3.1 缩略语 1……………………………………………………………………………………………… 3.2 符号 1………………………………………………………………………………………………… 4 方法原理与系统构成 4…………………………………………………………………………………… 4.1 方法原理 4…………………………………………………………………………………………… 4.2 系统构成 4…………………………………………………………………………………………… 5 计量单位与技术指标 4…………………………………………………………………………………… 5.1 计量单位 4…………………………………………………………………………………………… 5.2 技术指标 5…………………………………………………………………………………………… 6 检定环境 6………………………………………………………………………………………………… 6.1 外观要求 6…………………………………………………………………………………………… 6.2 安装场所要求 6……………………………………………………………………………………… 6.3 电源 6………………………………………………………………………………………………… 6.4 环境温度与湿度 6…………………………………………………………………………………… 7 检定项目与方法 6………………………………………………………………………………………… 7.1 能量标检定 6………………………………………………………………………………………… 7.2 强度标检定 24………………………………………………………………………………………… 7.3 横向分辨率检定 31…………………………………………………………………………………… 7.4 离子枪检定 40………………………………………………………………………………………… 7.5 荷电控制与校正检定 50……………………………………………………………………………… 8 报告检定结果 55…………………………………………………………………………………………… 9 检定周期 55………………………………………………………………………………………………… 参考文献 56…………………………………………………………………………………………………… Ⅰ GB/T35158—2017