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GB/T 14850-2008 气体分析词汇 被代替 发布日期 :  2008-05-15 实施日期 :  2008-11-01

本标准规定了用于气体分析及气体分析用校准混合气的相关术语。

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GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4) 被代替 发布日期 :  1995-12-20 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩 被代替 发布日期 :  1997-08-13 实施日期 :  1998-05-01

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GB/T 17873-1999 纯氖 被代替 发布日期 :  1999-09-16 实施日期 :  2000-06-01

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GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 被代替 发布日期 :  2002-10-15 实施日期 :  2003-04-01

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GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 被代替 发布日期 :  2003-03-05 实施日期 :  2003-08-01

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GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮 被代替 发布日期 :  2007-12-14 实施日期 :  2008-07-01

本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式:NF3。 分子量:71.0019(按2001年国际相对原子量)

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GB/T 22053-2008 戊烷发泡剂 被代替 发布日期 :  2008-06-30 实施日期 :  2009-02-01

本标准规定了戊烷发泡剂的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全的要求。 本标准适用于以含戊烷的原料经分馏精制而得的戊烷发泡剂,该产品主要在可发性聚苯乙烯和软质聚氨酯生产工艺中作发泡剂,也可用于化学工业或实验溶剂。

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GB/T 5274-2008 气体分析 校准用混合气体的制备 称量法 被代替 发布日期 :  2008-06-18 实施日期 :  2009-01-01

本标准规定了用称量法制备校准混合气的方法,该方法用于制备瓶装校准混合气,该混合气准确度的期望值是预先设定的。它仅适用于气态,或能完全气化的组分的气体混合物,并且各组分之间、组分与瓶壁之间不发生反应。对于制备基于预先设定不确定度水平的气体混和物,本标准给出了一个制备程序。 多组分气体混合物(包括天然气)和多级稀释气体混合物都包含在本标准中,可以认为是单组分称量制备法的特例。 本标准还规定了称量法制备校准混合气中组分含量的验证程序。与其他制备校准混合气的方法相比,称量法制备和验证的校准混合气的准确度是最高的。

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GB/T 5275的本部分规定了动态体积法制备混合气体所涉及的校准方法,并简要介绍了动态体积法制备技术的部分实例。关于动态体积法制备技术在GB/T 5275的其他部分有更详细的描述。

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GB/T 5275的本部分规定了用容积泵连续产生校准用混合气的方法,该方法通过多活塞容积泵、用纯气或混合气制备含两种或多种组分的校准用混合气体。这种泵可用于制备平衡气中气相组分的体积分数范围在0.1%以上的混合气体,测量的相对扩展不确定度U由相对合成不确定度乘以包含因子k=2 得出,其值不超过0.5%。
多个容积泵串联运行可获得更低浓度的混合气体。两个容积泵的串联组可制备的最低浓度为10-6。而且采用预混气代替纯气制备混合气体,还可得到更低浓度的混合气体,其结果及不确定度计算参见附录A。
此方法的优点是可连续制备大量混合气体,且可制备多组分混合气体。

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GB/T 6052-1993 工业液体二氧化碳 被代替 发布日期 :  1993-08-26 实施日期 :  1994-07-01

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GB/T 6285-2003 气体中微量氧的测定 电化学法 被代替 发布日期 :  2003-04-24 实施日期 :  2003-09-01

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GB/T 7445-1995 纯氢、高纯氢和超纯氢 被代替 发布日期 :  1995-12-20 实施日期 :  1996-08-01

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GB/T 8979-1996 纯氮 被代替 发布日期 :  1996-12-02 实施日期 :  1997-05-01

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