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【国家标准】 电子工业用气体　三氟化氮

本网站 发布时间： 2022-05-05
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适用范围：

本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF3。 分子量：71.0019(按2001年国际相对原子量)

读者对象：

三氟化氮的生产、检验、包装、运输等人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 21287-2007

  • 标准名称：

    电子工业用气体　三氟化氮

  • 英文名称：

    Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride

  • 标准状态：

    被代替

  • 发布日期：

    2007-12-14

  • 实施日期：

    2008-07-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.100.20

  • 中标分类号：

    G86

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    26 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠

  • 起草单位：

    湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所

  • 归口单位：

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)

  • 提出部门：

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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