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- GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢
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适用范围:
本标准规定了电子工业用气体 5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。
读者对象:
半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。
标准号:
GB/T 24469-2009
标准名称:
电子工业用气体 5N氯化氢
英文名称:
Gas for electronic industry—5N hydrogen chloride标准状态:
被代替-
发布日期:
2009-10-15 -
实施日期:
2009-12-01 出版语种:
中文简体
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