本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。
本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物，也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。
氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。
氟的分子式：F2。
氟的相对分子质量：37.996 806 4(按2007年国际相对原子质量计算)。

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本标准规定了通过配备氦离子化检测器的气相色谱仪测定气体中组分的方法。
本标准适用于气体中微量和痕量组分的分析。

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本标准规定了氧化亚氮的技术要求、试验方法、包装、标志、贮存及运输，给出了安全警示。
本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮，主要用作制冷剂、助燃剂、防腐剂、麻醉剂、压力推进剂，此外，也用于化工、半导体制造和原子吸收光谱等领域。
分子式：N2O。
相对分子质量：44.012 88（按2007年国际相对原子质量）。

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本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式：SF6。相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。

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本标准规定了采用光腔衰荡光谱法测定气体中氮氧化物的方法原理、仪器一般要求、仪器校准要求、试验步骤、结果处理和报告。
本标准适用于气体中一氧化氮和二氧化氮含量的测定，一氧化氮含量的测定范围:（1～1 000)×10-6（体积分数)、二氧化氮含量的测定范围:（0.1～1 000)×10-6（体积分数)。本标准不适用于对吸收光谱有干扰的气体。

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本标准规定了用压力法制备混合气体的术语和定义、原理、策划、制备、检验、合格证、包装、充装、储运以及安全要求。本标准适用于瓶装混合气体的批量制备及集束装混合气体的制备。

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本标准规定了校准混合气体的基本要求、名称、制备、包装、标志、储运和使用的通用技术要求。
本标准适用于各类方法制备的校准混合气体。

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本标准规定了工业氧的技术要求、试验方法以及包装、标志、储存与运输。给出了氧气安全警示。
本标准适用于由深冷法分离空气和电解水等方法制取的气态或液态氧，主要用于冶金、化工、环境保护、火焰加工等。

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本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。

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本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。

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本文件定义了表述混合气体组成的常用量：
——摩尔分数；
——质量分数；
——体积分数；
和
——摩尔浓度；
——质量浓度；
——体积浓度。
对于这些组成量，本文件给出方法进行：
——不同量之间的换算；和
——不同状态条件之间的换算。
不同量之间的换算是指由混合气体中某组分一种量的含量数值，计算出相同压力和温度条件下该组分另一种量的含量数值，这些量均为以上列出的量。不同状态之间的换算是指通过某组分在一种状态下（即温度和压力），由上述任一量的含量数值计算出另一种状态下该组分同一种量的含量数值。通过将这两种换算方式相结合，混合气体的组成可同时进行不同组分量的换算和不同状态条件的换算。
本文件只适用于均匀稳定的混合气体。因此所涉及的任一状态条件（压力和温度）都要确保混合气体和每一个指定分析组分均不产生凝析（见附录A）。

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本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。  它主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。分子式：SiH4。相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。

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本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。

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本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
分子式：Ar。
相对分子质量：39.948(按2005年国际相对原子质量)。

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本标准规定了纯氩、高纯氩的技术要求、检验规则、试验方法以及包装、标志、贮运及安全警示。本标准适用于深冷法从空气、合成氨尾气中提取的气态和液态纯氩和高纯氩，以及经净化方法得到的纯氩和高纯氩。

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